磁性翻转装置可以自动翻转真空镀膜设备中的镜片,而在换面时不会破环真空。与机械转向装置相比,磁耦合具有决定性的优势。
有限元模拟是用来计算磁场并将其适应镀膜设备的设计。因此,磁场翻转装置适用于各种镀膜设备。
磁力翻转装置
真空镀膜设备
自动翻转装
置
翻转过程中
圆顶上的镜头示例
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磁场模拟
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功能
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